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ASML(阿斯麦)CEO在2023 Q3业绩电话会上表示,今年基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单。
不过,叠加出口管制新规,公司明年DUV收入将会减少,总销售收入可能会有所下降。
这位CEO还表示,“受可再生能源、电动汽车、工业物联网、电信基础设施等领域庞大投资驱动,中国大陆对次关键和成熟制程的需求将会很大。”
今年9月初的时候,ASML就已经表示,获得荷兰官方的允许,在今年年底前向中国客户出口其部分先进工具。
按照ASML的说法,在2023年的剩余时间里,ASML将能继续出货其NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品,这些产品从9月1日起就受到限制。
至于2024年是不是可以继续,ASML则表示暂时不能确定。
据ASML官网提供的信息,该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
ASML官网上关于这一台TNXT:1980Di介绍,在分辨率方面,写到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右),而这是指一次曝光分辨率,事实上光刻机是可以进行多次曝光。